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光氧催化废气处理是一种高效净化大气中有害废气的技术方法。其流程包括光氧催化装置、催化剂催化反应和尾气处理三个主要步骤。

可先，光氧催化装置主要由光源、反应室和组成光反应系统的其他组件构成。光源通常采用高能紫外光灯，能发出大量紫外线，作为光氧催化反应的能量来源。反应室则是废气进入的空间，其内部表面往往涂有特殊的催化剂。

其次，废气进入光氧催化反应装置后，与催化剂发生接触并吸附在其表面。催化剂具有很强的催化活性，能够促进废气中有害物质的氧化反应。因此，催化剂在光氧催化废气处理中起到至关重要的作用。

当废气分子接触到催化剂表面时，受到激发并转化为活性物质，如羟基自由基（OH·）、CA氧自由基（O2·-）等。这些活性物质能够与废气中的有机污染物相互作用，使其发生氧化降解反应。同时，活性物质还能够破坏废气中的臭氧层，从而达到净化空气的效果。

比较后，经过催化反应后的废气需要进行尾气处理。尾气处理主要包括多级过滤、吸附和吸收等步骤。在多级过滤中，废气通过一系列过滤器进行颗粒物的去除，确保废气排放符合相应的排放标准。接下来，废气进一步经过吸附器，吸附剂能够吸附废气中的气态污染物，进一步提高废气的净化效果。比较后，在吸收器中，利用化学吸收剂对废气进行洗涤处理，进一步去除残留的有害成分，比较终得到较为纯净的废气。

光氧催化废气处理工艺流程图如下所示：

[插入工艺流程图]

总结起来，光氧催化废气处理工艺流程包括光氧催化装置的搭建、催化剂的催化反应以及尾气处理等步骤。通过催化剂的作用和光源的能量，废气中的有害物质得以氧化降解，比较终实现废气的治理和净化。该工艺具有高效、无二次污染和可持续等优点，在环境保护领域具有广阔的应用前景。